上海機(jī)電設(shè)備招標(biāo)有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2018-09-30在中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1、招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況:中芯集成電路制造（紹興）有限公司計(jì)劃為中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目購(gòu)買一批工藝生產(chǎn)設(shè)備
資金到位或資金來(lái)源落實(shí)情況:資金已到位
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說(shuō)明:項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件
2、招標(biāo)內(nèi)容
招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):0613-184022153798/02
招標(biāo)項(xiàng)目名稱:中芯紹興特種晶圓工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目設(shè)備采購(gòu)第九批——I-line步進(jìn)式光刻機(jī)
項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó)浙江省
招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
| 序號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
| 1 | 包件1：晶圓表面顆粒檢測(cè)機(jī) | 晶圓表面顆粒檢測(cè)機(jī) 1臺(tái) | 1.可以檢測(cè)Bare_Si,Poly_Si,Oxide等介質(zhì)的晶圓。 晶圓表面的缺陷，顆粒計(jì)數(shù)和異常微觀表面分類。 | |
| 2 | 包件2：I-line步進(jìn)式光刻 | I-line步進(jìn)式光刻 1臺(tái) | 1.Resolution 0.4um L/S 2.Coma <=0.055um | |
| 3 | 包件3：干法去膠機(jī) | 干法去膠機(jī) 1臺(tái) | 1.Strip Rate:56000+/-3000A/min 2.Strip Rate Uni : <8% WPH>140P/H | |
| 4 | 包件4：加強(qiáng)等離子體介電層氣相沉積機(jī)與等離子體多晶硅刻蝕機(jī) | 加強(qiáng)等離子體介電層氣相沉積機(jī) 1臺(tái) 等離子體多晶硅刻蝕機(jī) 1臺(tái) | 實(shí)現(xiàn)片內(nèi)高均勻性的介電層沉積 1.實(shí)現(xiàn)多晶硅刻蝕要求etch rate >1500A/min 2.主刻蝕比氧化層選擇比大于150:1 Chamber 與chamber 差異小于5%。 | |
| 5 | 包件5：晶圓自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)機(jī) | 晶圓自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)機(jī) 1臺(tái) | 1.IR function 2.可以抓取150um~400um厚度的晶元。 實(shí)現(xiàn)帶frame 和非frame 晶元的掃描。 |
3、投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī)：1）具有獨(dú)立的法人資格，相應(yīng)的經(jīng)營(yíng)范圍。投標(biāo)方應(yīng)具有正規(guī)注冊(cè)的辦事處、維修站及零備件保稅庫(kù)。在中國(guó)境內(nèi)應(yīng)有專門負(fù)責(zé)的經(jīng)驗(yàn)豐富的維修工程師和專門的技術(shù)應(yīng)用支持工程師。2）投標(biāo)人提供的設(shè)備需要在業(yè)界有安裝使用的經(jīng)驗(yàn)
是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受
未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以
4、招標(biāo)文件的獲取
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)開(kāi)始時(shí)間:2018-09-30
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)結(jié)束時(shí)間:2018-10-12
是否在線售賣標(biāo)書(shū):否
獲取招標(biāo)文件方式:現(xiàn)場(chǎng)領(lǐng)購(gòu)
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)地點(diǎn)：上海市長(zhǎng)壽路285號(hào)16樓
招標(biāo)文件售價(jià):￥500/$80
5、投標(biāo)文件的遞交
投標(biāo)截止時(shí)間（開(kāi)標(biāo)時(shí)間）:2018-10-23 09:30
投標(biāo)文件送達(dá)地點(diǎn):上海市長(zhǎng)壽路285號(hào)恒達(dá)廣場(chǎng)22樓
開(kāi)標(biāo)地點(diǎn):上海市長(zhǎng)壽路285號(hào)恒達(dá)廣場(chǎng)22樓開(kāi)標(biāo)大廳
6、投標(biāo)人在投標(biāo)前需在中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)上完成注冊(cè)。評(píng)標(biāo)結(jié)果將在中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)公示。
7、聯(lián)系方式
招標(biāo)人:中芯集成電路制造（紹興）有限公司
地址:中國(guó)浙江省紹興市越城區(qū)皋埠鎮(zhèn)臨江路518號(hào)
聯(lián)系人:蔡娟
聯(lián)系方式:+86-21-38610000
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):上海機(jī)電設(shè)備招標(biāo)有限公司
地址:上海市長(zhǎng)壽路285號(hào)
聯(lián)系人:應(yīng)秋祺 王鼎 潘永亮
聯(lián)系方式:86-21-32557721
8、匯款方式:
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)開(kāi)戶銀行(人民幣):
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)開(kāi)戶銀行(美元):
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